庄信万丰向中国高科技制造商供应9N级氢气提纯设备

鉴于中国大陆与台湾地区在 LED 生产领域持续释放的强劲需求，全球领先的氢气净化器设计与制造商庄信万丰（Johnson Matthey）已将其高端净化设备批量供应至两地新建及扩建的 LED 晶圆厂。

据LEDinside报道，庄信万丰旗下先进的 PSH 系列大宗氢气净化器可针对晶圆制造场景，提供纯度高达 99.9999999%（9N 级）的超纯氢气。其中，HP 系列净化器凭借极致纯度表现成为市场畅销款，其技术指标已达到行业顶尖水平。

庄信万丰气体净化技术（GPT）集团销售经理 Stuart Bestrom 透露，公司近期已与中国两家大型高科技企业达成设备供应合作：一家企业专注于超高亮度红、橙、黄 LED 外延片及芯片、光通信元件等光电器件的规模化研发与生产；另一家则采购多台 PSH-60 型纯化器，该设备氢气处理流量可达 60 Nm³/ 小时。

（图片来自Johnson Matthey产品介绍）

在台湾地区，庄信万丰的核心客户包括一家领先的纯高功率 InGaN LED 晶圆与芯片制造商——作为台湾唯一提供全系列高功率 InGaN 蓝光、绿光及近紫外 LED 产品的企业，其已采购多台 PSH-60 型纯化器。

另一家企业则通过庄信万丰纯化器为旗下高通量 MOCVD 设备供应超纯氢气，以支撑产能扩张需求。

9N 级超高纯度氢气的关键应用领域

99.9999999% 纯度的超高纯氢气（9N 级）在工业与科研领域扮演关键角色，核心应用场景如下：

电子工业-半导体制造：用于硅晶圆外延生长、芯片蚀刻与清洗，去除氧化物杂质并作保护气。

显示面板：在 OLED/LED 生产中作为载气防氧化；集成电路：超大规模集成电路制造需 7N 以上氢气作还原剂；高端科研领域-分析仪器：气相色谱仪载气、质谱仪校准标准气体；核研究：核反应堆冷却剂及核聚变实验材料 。

特种材料制备-光纤制造：防止玻璃纤维氧化以提升传输性能。

单晶硅提纯：太阳能电池板高纯硅制备；超导材料：部分超导体合成需高纯氢环境 ；能源与航天 - 燃料电池：氢燃料电池汽车燃料源；火箭推进剂：液氢作为航天器高效燃料。

其他高端应用-医疗设备：医用核磁共振仪冷却系统。

标准气体：工业检测基准参照物

生产技术要点

9N 级氢气通常采用电解水结合钯膜纯化技术制备，生产过程中需严格规避金属容器接触，以防氢脆效应影响纯度与设备安全。

中国 9N 级氢气提纯设备研发进展与突破

近年来，中国在 9N 级氢气提纯设备领域实现显著技术突破。

玖恩智能：掌握 30 余种特种气体超高纯提纯技术，可将杂质脱除至 1ppb 以下，为阿斯麦光刻机定制的气体纯化器纯度达 “百亿分之一” 级别。2021 年首台设备落地武汉半导体厂，目前合作客户超 200 家，实现进口替代。

大连华邦：自主研发的 9N 级纯化器获 “中国半导体创新产品和技术奖”，杂质含量＜1ppb，价格较国际同类产品低 30%，已应用于中芯国际、华为海思等头部企业。

欧彼科技：通过催化冷却、二级吸附等技术，实现氮气、氢气等气体纯度超 9N，推动半导体行业国产化进程。

技术路线创新

纯化工艺：融合钯铂触媒、分子筛吸附等技术，优化低温分离与变压吸附（PSA）工艺。

成本控制：部分企业通过模块化设计降低液氮依赖，减少超低温设备投入。

副产物处理：开发电子级半导体副产氢提纯系统，分离氯硅烷等杂质以提升氢气质量。

政策与产业支持

国家 “新基建” 战略推动半导体产业链本土化，刺激高纯气体设备需求。

氢能产业政策加速提纯技术商业化。