铂道
发明专利仅公开已失效燃料电池与核心部件

光敏微晶玻璃支撑型微燃料电池及其制造方法

CN115642279A 申请号 CN202211251430.1

公开号：CN115642279A申请号：CN202211251430.1申请日：2022-10-13公开日：2023-01-24文献类型：发明专利产业链环节：燃料电池与核心部件视图：氢能核心

摘要

本发明涉及燃料电池技术领域及微晶玻璃技术领域，提供了一种光敏微晶玻璃支撑型微燃料电池及其制造方法。光敏微晶玻璃支撑型微燃料电池其结构包括作为基板的光敏微晶玻璃、金属铂作电极，氧化钇稳定氧化锆(YSZ)作电解质的微型固体氧化物燃料电池。其制造方法包括以下步骤：微晶玻璃气体通孔区域的曝光退火，铂电极薄膜的沉积及刻蚀，YSZ电解质及铂电极薄膜的沉积，刻蚀部分铂电极和YSZ电解质，刻蚀曝光退火区域的微晶玻璃形成气体通孔。本发明将能量密度高的燃料电池集成在电绝缘、热膨胀系数与燃料电池相当的光敏微晶玻璃之上，可替代传统微机电系统中电源系统。

申请人共 1 家

  • 1.电子科技大学

IPC 分类号共 3 项

H01M8/2418(2016.01)H01M8/2425(2016.01)H01M8/0215(2016.01)

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