氢能专利库

本发明涉及PEM燃料电池金属双极板生产技术领域，公开了一种PEM燃料电池金属双极板碳基复合涂层的制备工艺，包括如下步骤：在真空状态下依次对待镀膜双极板的待镀表面进行烘烤除气、离子清洗活化、制备离子渗层、沉积金属打底层、沉积金属氮化物层、沉积DLC层、沉积Ta‑C层。本发明提供的上述方案，将离子渗氮/渗碳、磁控溅射MS、等离子增强化学气相沉积PECVD和纯离子镀膜PIC融合，在金属双极板上制备碳基复合涂层，可以提升双极板的耐腐蚀性能和结合强度，延长使用寿命。

本发明公开了基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，包括真空腔室、离子束清洗源和碳基薄膜磁控溅射源，具有可启闭装配的室门；真空腔室内具有转架以及设置于转架上用于定位待镀的燃料电池双极板的夹具，离子束清洗源用于发射离子束起弧辉光放电对清洁燃料电池双极板的待镀面进行清洁及改性，碳基薄膜磁控溅射源用于产生电磁场结合镀膜工艺气体产生辉光，并轰击附着于燃料电池双极板表面形成膜层。利用IONBEAM离子束对金属双极板进行表面清洗及表面改性的之后利用磁控溅射碳基薄膜镀膜源对金属双极板进行碳基薄膜镀膜，利用碳基薄膜膜层的特性即：高导电性、致密性、抗腐蚀性能好、摩擦系数小等优点，从而提高金属双极板的导电性、及使用寿命。