一种基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备

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本发明公开了基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备,包括真空腔室、离子束清洗源和碳基薄膜磁控溅射源,具有可启闭装配的室门;真空腔室内具有转架以及设置于转架上用于定位待镀的燃料电池双极板的夹具,离子束清洗源用于发射离子束起弧辉光放电对清洁燃料电池双极板的待镀面进行清洁及改性,碳基薄膜磁控溅射源用于产生电磁场结合镀膜工艺气体产生辉光,并轰击附着于燃料电池双极板表面形成膜层。

制造商

安徽纯源镀膜科技有限公司登记的经营范围为:真空镀膜加工;泵及真空设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);专用设备制造(不含许可类专业设备制造)等 25 项。(据工商登记整理,非机构自述)

来源与加工说明

  • 来源:专利公开 CN115747737A

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